20世紀90年代，隨著化工制藥行業(yè)、半導體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝的不斷發(fā)展，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高，傳統的油封式機械泵的返油問題日益尖銳 ，急需一種運行穩(wěn)定可靠，且抽氣腔內完全無油的新型真空泵，干式螺桿真空泵順應而生。1890年，美國麻省的Warren公司發(fā)明了全球第一臺雙螺桿泵，荷蘭的Houttuin公司于1929年發(fā)明了歐洲第一臺雙螺桿泵。其具有結構簡單緊湊，運行穩(wěn)定可靠，可直排大氣，抽氣腔內完全無油等特點。

源于螺桿壓縮機的多頭轉子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機的轉子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6頭螺桿轉子型線用在真空泵上，韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉子型線，由于兩嚙合轉子接觸線的頂點不能達到陰、陽轉子氣缸孔的交線，在接觸線頂點和機殼的轉子氣缸孔之間，會形成一個空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個泄漏三角形的存在，導致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉子加工難度大，需要專用機床，造價昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場。

為適應市場需求，各公司開始開發(fā)單頭等螺距轉子型線。目前，單頭等螺距轉真空泵仍占有很大市場。

變螺距螺桿泵是等螺距螺桿泵的升級產品。等螺距螺桿泵由于無內壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。最早螺桿真空泵的引導線（螺旋線）為常數，也就是等螺距螺桿，介質(主要是氣體) 在泵體內部等體積傳輸，在排氣口壓縮，屬于外部壓縮，能耗和噪聲都較高。從能效觀點出發(fā)，工作氣體是可以內部壓縮的，在端面型線不變的情況下，通過改變螺旋線的導程實現內部壓縮，增大吸氣端導程擴大吸氣容積，縮小排氣端的導程降低氣體返流泄漏，提升了排氣能力，降低了能耗。

螺桿轉子的設計中，最重要的是設計型線，因為轉子型線基本決定了螺桿機械的性能好壞。螺桿機械性能的不斷提高及其市場份額的不斷擴大，是與轉子型線的發(fā)展密不可分的。